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MEMS 二氧化氮氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí)傳感器電導率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
0371-60932951便攜式與固定式二氧化氮檢測儀
| 產(chǎn)品型號 | GM-102B | ||
| 產(chǎn)品類(lèi)型 | MEMS二氧化氮氣體傳感器 | ||
| 標準封裝 | 陶瓷封裝 | ||
| 檢測氣體 | 二氧化氮 | ||
| 檢測濃度 | 0.1-10ppm(NO2) | ||
| 標準電路條件 | 回路電壓 | Vc | ≤24V DC |
| 加熱電壓 | VH | 2.0V±0.1V ACorDC | |
| 負載電阻 | RL | 可調 | |
| 標準測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω（室溫） |
| 加熱功耗 | PH | ≤40mW | |
| 敏感體表面電阻 | Rs | 10KΩ-1000KΩ(in 2ppm NO2) | |
| 靈敏度 | S | Ro(in air)/Rs(in 2ppm NO2)≤0.5 | |
| 標準測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | |
| 標準測試電路 | Vc:5.0V±0.1V； VH:2.0V±0.1V | ||
注：產(chǎn)品參數如有變動(dòng)，恕不另行通知
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