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F1012微流量傳感器

F1012微流量傳感器

F1012微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測,具有很好的精度與重復性。內置有溫度傳感器,每只都進(jìn)行專(zhuān)有的溫度補償校準;同時(shí)具有線(xiàn)性模擬電壓輸出,方便使用。

0371-60932951

主要應用

  • 工業(yè)過(guò)程控制       空氣和環(huán)境保護      便攜式呼吸機


產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 11 11 最新一代 MEMS 傳感器芯片技術(shù)
  • 22 22 精度高,響應速度快,重復性好
  • 33 33 可精確測量極小流量

技術(shù)指標

產(chǎn)品型號F1012
量程①50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②

MIN典型值MAX單位
滿(mǎn)量程輸出4.905.005.10V
零流量輸出0.961.001.04V
輸出阻抗-200-Ω
工作電壓7.010.014.0V
工作電流152530MA
精度-±1.5±2.5%F.S
重復性-±0.3±0.5%F.S
年漂移③-±0.1±0.5%F.S
耐壓--200kPa
反應時(shí)間455055ms
工作溫度④-25-65
儲存溫度-40-90


注:
①可提供50-2000sccm之間任意量程。
②sccm:standard-state cubic centimeter per minute,意義為標況毫升每分鐘,標況規定為:氣體溫度0℃ ;氣壓101.325 kPa;
③測試條件為室溫、清潔空氣。
④溫度補償實(shí)校范圍為0℃-50℃,超過(guò)此范圍溫度補償效果不能保證。


產(chǎn)品尺寸

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